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国内六氟丁二烯(C₄F₆先进刻蚀特气)龙头上市公司

添加时间:2026-08-10 16:32:14

  

国内六氟丁二烯(C₄F₆先进刻蚀特气)龙头上市公司(图1)

  不构成投资建议。产品定位:7nm及以下逻辑、HBM、高堆叠3D‑NAND核心刻蚀气体,超高深宽比刻蚀刚需;全球仅三家企业稳定量产5N高纯级:昊华科技、日本关东电化、德国林德;认证周期2‑3年,壁垒极高,送样≠批量供货。

  - 产品特色:旗下黎明院,国内唯一大规模稳定量产5N‑6N高纯六氟丁二烯企业。现有有效产能1000‑1200吨/年,全球市占约57%,国内高纯晶圆厂市占90%以上;2027年苏州基地新增200吨,总产能至1400吨。

  - 科研与客户:多级超精馏提纯技术;已经通过台积电、三星、长江存储、长鑫存储头部先进产线全套认证,生产线满负荷运行;单品毛利率50‑70%。中化蓝天资产重组后打通萤石‑氢氟酸上游原料闭环,成本优势明显。

  - 发展前景:HBM、3D‑NAND堆叠层数提升,单位芯片消耗量大幅增加;海外日系装置减产收缩供给,价格维持高位震荡,订单排期拉长。

  - 短板:六氟丁二烯只属于公司电子特气板块,整体占上市公司营收比重不高;新建产能要等到2027年释放。

  - 产品特色:六氟丁二烯产能200吨/年;可产出4N‑5N品级;依托公司六氟化钨、三氟化氮等含氟特气协同配套。

  - 研发进展:进入长江存储、华虹等国内晶圆厂验证,以国内成熟制程为主,先进制程头部客户仍在持续验证迭代。

  - 短板:产能规模远小于昊华科技,高端5N品级大规模供货仍在爬坡,短期业绩贡献有限。

  - 产品特色:300吨/年六氟丁二烯产能建成;完成部分客户认证,处于小批量送样阶段,尚未大规模放量。

  - 产品特色:175吨/年装置建成;依托衢州氟化工集群,4.5‑5N级别;主要面向国内二线晶圆厂供货。

  金宏气体、广钢气体等有规划/在建装置,大多处于建设调试,尚未完成电子级客户认证,暂不具备大规模商业供货能力。

  1. 供给:日本关东电化老旧装置减产,无新增扩产计划;德国林德优先保障欧美本土;全球有效高纯产能不足1800吨,供需持续紧平衡。

  2. 价格:5N高纯主流报价300‑380万元/吨,2026年内震荡上行,交货周期拉长;工业级4N以下价格低很多,不能用于HBM先进产线. 需求增量:HBM、千层3D‑NAND爆发,单片芯片耗材消耗量是普通存储芯片3‑4倍,需求快速抬升。

  1. 认证壁垒:即便装置建成,晶圆厂完整验证需要2‑3年,不是投产就可以销售;

  4. 题材区分:要区分5N电子高纯级(HBM可用)和4‑4.5N工业级,二者价值差距巨大。

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